Prozess- und Reinheit der Gase
Prozessgase – Zusammensetzung, Reinheit und analytische Bestimmung
Prozessgase sind essenziell für zahlreiche industrielle Anwendungen – etwa in der Halbleiterfertigung, Metallverarbeitung, chemischen Industrie oder Umwelttechnik. Ihre Zusammensetzung und Reinheit beeinflussen direkt die Effizienz, Sicherheit und Qualität der jeweiligen Prozesse.
Zusammensetzung und Reinheit
Prozessgase können aus reinen Komponenten wie Stickstoff, Sauerstoff, Argon oder Wasserstoff bestehen oder komplexe Mischungen enthalten. Verunreinigungen wie Feuchtigkeit, Sauerstoff, Kohlenmonoxid oder Schwefelverbindungen können zu Korrosion, Prozessstörungen oder Qualitätsverlust führen.
Analytische Bestimmung in unserem Labor
Wir führen die Bestimmung der Gaszusammensetzung und Reinheit mit verschiedenen Methoden durch, abgestimmt auf die jeweilige Anwendung und geforderte Nachweisgrenze. Dabei kommen folgende Detektoren zum Einsatz:
- Massenspektrometer (MS) – für hochsensitive Spurenanalytik
- Flammenionisationsdetektor (FID) – zur Bestimmung organischer Verbindungen
- Wärmeleitfähigkeitsdetektor (WLD/TCD) – zur Analyse von permanenten Gasen
- Helium-Ionisationsdetektor (HID) – für die Detektion von Edelgasen und Spurenstoffen
- FPOD (Fluoreszenz-Photoionisationsdetektor) – zur Erkennung halogenierter und aromatischer Verbindungen
Diese Kombination ermöglicht eine präzise und umfassende Analyse verschiedenster Prozessgase – sowohl für Routinekontrollen als auch für spezielle Anforderungen in Forschung und Entwicklung.
